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DXR+款六自由度精动台 多角度升降倾斜摇摆可调
重复定位精度:±2 arc sec,定位精度:±3 arc sec,位置稳定性:±0.2 arc sec¥ 0.00立即购买
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DXRH款精动台 六自由度微调系统 多角度倾斜升降可调
重复定位精度:±0.25 arc sec ,位置稳定性:±2 arc sec ,¥ 0.00立即购买
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精动台Z3TH款 六自由度微调运动平台 多角度控制系统
位置稳定性±1.9nm 旋转精度±0.35 arc sec 重复定位精度±0.01μm¥ 0.00立即购买
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Z3TM+静动台 六自由度运动平台多轴微调 六维力运动系统
重复精度达±30nm,位置稳定性±3nm,旋转角度精度±2 arc sec¥ 0.00立即购买
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天王星款超精密运动控制平台 半导体前段制程检测封装纳米级定位平台
适用于晶圆生活禅控制应用:叠片测量、关键尺寸、薄膜量测,以及后段制程:特定大型面板/基体上的倒晶封装¥ 0.00立即购买
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水星款超精密运动控制平台 半导体制程关键尺寸 叠片测量 薄膜量测纳米级定位
适用于晶圆成产控制应用:关键尺寸、叠片测量、薄膜量测¥ 0.00立即购买
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木星款超精密运动控制平台 半导体检测量测先进封装定位平台
适用于先进固晶制程(倒晶封装、扇出、混合键合、2.5D/3D封装)、μ-LED固晶、点胶等应用¥ 0.00立即购买
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半导体纳米定位平台
定位精度:±0.1μm,行程:50*50mm/100*100mm/150*150mm¥ 0.00立即购买
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35nm气浮运动平台 克洛诺斯科技自主研发国产气浮平台
重复定位精度:±35nm¥ 0.00立即购买
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