解决方案
Solution
-
DXR+款六自由度精动台 多角度升降倾斜摇摆可调
重复定位精度：±2 arc sec，定位精度：±3 arc sec，位置稳定性：±0.2 arc sec¥ 0.00立即购买
-
DXRH款精动台 六自由度微调系统 多角度倾斜升降可调
重复定位精度：±0.25 arc sec ，位置稳定性：±2 arc sec ,¥ 0.00立即购买
-
精动台Z3TH款 六自由度微调运动平台 多角度控制系统
位置稳定性±1.9nm 旋转精度±0.35 arc sec 重复定位精度±0.01μm¥ 0.00立即购买
-
Z3TM+静动台 六自由度运动平台多轴微调 六维力运动系统
重复精度达±30nm，位置稳定性±3nm，旋转角度精度±2 arc sec¥ 0.00立即购买
-
天王星款超精密运动控制平台 半导体前段制程检测封装纳米级定位平台
适用于晶圆生活禅控制应用：叠片测量、关键尺寸、薄膜量测，以及后段制程：特定大型面板/基体上的倒晶封装¥ 0.00立即购买
-
水星款超精密运动控制平台 半导体制程关键尺寸 叠片测量 薄膜量测纳米级定位
适用于晶圆成产控制应用：关键尺寸、叠片测量、薄膜量测¥ 0.00立即购买
-
木星款超精密运动控制平台 半导体检测量测先进封装定位平台
适用于先进固晶制程（倒晶封装、扇出、混合键合、2.5D/3D封装）、μ-LED固晶、点胶等应用¥ 0.00立即购买
-
天蝎座气浮运动平台 纳米级精密平台 晶圆检测 纳米检测
重复定位精度：±100nm
定位精度：1um¥ 0.00立即购买
-
狮子座纳米级气浮精密平台 晶圆检测 光刻
重复定位精度：±10nm
定位精度：0.3um¥ 0.00立即购买
