碳化硅:第三代半导体核心材料,重塑半导体产业格局

 

碳化硅又称碳硅石,是在大自然中存在的罕见矿物,工业上以石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑为原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅性能优势显著、用途广泛,在高端材料、高端设备制造业中有着重要的应用,5G通信、新能源汽车等产业对碳化硅材料有巨大的需求,以碳化硅为代表的第三代半导体材料,是继硅材料之后最有前景的半导体材料之一。

 

 

与硅材料相比,以碳化硅晶片为衬底制造的半导体器件具备高功率、耐高压、耐高温、高频、低能耗、抗辐射能力强等优点。碳化硅材料在半导体行业主要用于制作功率器件,可显著提高电能利用率。

 

以导电型碳化硅晶片为衬底制成的碳化硅功率器件在新能源汽车、光伏发电、轨道交通等现代工业领域有着不可替代的作用。新能源汽车对碳化硅器件将产生巨大的需求,特斯拉Model 3就已率先应用了集成全碳化硅模块。

 

 

功率半导体(又称电力电子器件)用于电能转换、控制电流控制,是电力电子系统的关键部件,应用于电源、电机控制、可再生能源、电力传输、动力牵引等输变电和用电场景。

 

 
 

功率器件使用的半导体材料分为三代:

 

第一代半导体材料为硅(Si)、锗(Ge)等单质材料。由于工艺成熟及生产成本低,硅占据95%以上的半导体器件,是当今半导体材料的主体;

 

第二代半导体材料为砷化镓(GaAs)等化合物材料。砷化镓半导体材料具备高耐压、高频率等优势,但也有机械强度弱、高温下易分解、价格昂贵等方面的劣势,目前主要应用于LED等光电子领域;

 

 

第三代半导体材料为碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等宽禁带材料。

 

当前,碳化硅半导体产业正处于产业爆发期,其中晶圆是发展碳化硅半导体产业的核心材料。

 

 
 

碳化硅,第三代半导体时代的中国机会

 

碳化硅晶体的生长条件十分严苛,其生长速度缓慢,生长质量不易控制,如果有一丝肉眼无法察觉的管洞,就可能影响晶体的生长质量。碳化硅晶体需要经历高温和压力精确控制的生长环境,因温度太高,无法进行人工干预,所以碳化硅晶体的生长条件要求严苛,必须保证高稳定性,而这,就是最核心的技术。要想生产出高质量的碳化硅晶片,就必须攻克这些技术难关。

 

 

碳化硅单晶的制备一直是全球性难题,这项技术长期被美国封锁。中国半导体材料长期依赖进口,导致中国半导体材料价格昂贵、渠道不稳,随时都可能面对断供的风险。但是目前,中国碳化硅技术取得积极进展,中国企业经过科研攻关,已经掌握了这项技术,打破了国外垄断,实现了高纯度碳化硅单晶的商业化量产。

 

碳化硅晶片如此重要,在于它应用范围广泛,以及非常高的技术难度。一个直径4英寸的晶片一次可以做出1000个芯片,而直径6英寸的晶片一次则可以做成3000个芯片。但从4英寸到6英寸,晶体的生长是最难破解的关键技术。挖掘碳化硅市场潜力,从产业链中游来看,中国第三代半导体器件市场有着巨大的增长空间,碳化硅产业爆发前夜,有望引领中国半导体进入黄金时代。

 

 

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