4大半导体设备国产化率持续提升，直驱技术如何瞄准发展良机？

半导体设备行业被视作芯片制造的基石，是半导体行业的基础和核心。在半导体领域，一直有个说法：一代设备、一代工艺、一代产品，设备是始终走在工艺和产品前面的。

今年4月14日，国际半导体产业协会(SEMI)发布报告称，2020年全球半导体设备销售总额较上年同比增长19%，中国大陆首次成为全球最大半导体设备市场，这反映出中国在推动半导体国产化方面作出了巨大努力。设备的国产化率和技术节点是国产半导体设备两个最核心的指标，国产化率多高，技术节点是否掌握，决定着未来的市场空间，其重要程度不言而喻。

中国大陆的半导体设备需求为什么这么大？原因在于近几年，中国大陆半导体产业发展迅速，尤其是在晶圆制造领域。

对晶圆制造来说，重中之重就是设备，制造一颗小小的芯片，需要几十上百种设备，几百道工序，所以随着中国大陆产能的提升，对半导体设备的需求，开始一路猛涨。

在这么多半导体设备中，这4种设备占所有设备成本的比例最高：光刻、刻蚀、薄膜沉积和过程检测，大约占74%左右。

而这4种最重要的设备，国产化率有多高？答案是都非常低，特别是光刻机、过程检测类。那整体半导体设备的国产化率有多高？根据云岫资本发布的《2021中国半导体投资深度分析与展望》研究报告，2020年整体的半导体设备国产化率，可能只有6%左右，已经严重影响中国芯片产业的发展了。

由此可见，提高半导体设备的国产化率，接下来将是中国芯片产业链的重中之重，这些关键设备不能全靠进口，否则别人随时可以卡你的脖子。没有设备，再强的芯片技术，也生产不出芯片来，提高国产化这个问题，必须解决，没有可退之路。

尽管国产半导体设备整体较为落后的局面仍未改变，但局部有所突破。从市场角度来看，国内在清洗设备、炉管设备、抛光设备、镀铜设备等环节逐渐取得突破，未来有巨大的成长潜力，有力地带动了各个本土功能零部件行业的快速发展。

受供应链安全、全球疫情等因素的影响，全球整体产业格局正发生着重大的变化，中国制造业迎来向高端价值产业链转型升级的机遇与挑战，半导体供应链的自主化成为必然发展方向。

在这个过程中，国产半导体设备突飞猛进，直驱技术大有可为。尽管目前在大规模集成电路制造行业中，直驱技术产品还未在市场上批量应用，但一大批国内直驱企业正瞄准良机，在整个替代的过程中，迈出了坚实的步伐，取得了一定的成果。

克洛诺斯科技是半导体产业、集成电路制造装备领域核心部件的重要供应商，主营产品为纳米级、微米级直线电机运动平台，旗下产品超精密直线电机平台在半导体的应用包括激光直写LDI光刻机平台、掩模版曝光运动平台、IC封装平台、Mini LED Micro LED精密平台及整机设备，主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等关键领域。

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今年3月份，克洛诺斯又发布了新的直线电机小蓝动力导轨，精度高、速度快、价格低，主要应用在自动化、3c电子、光伏太阳能、新能源锂电池等行业。

未来10年，中国将成为全球半导体芯片的制造中心。但目前的中国半导体设备的发展还处于初级阶段，无法满足目前国内快速发展的半导体行业的需求。在国产半导体设备前所未有的发展机遇之下，直驱技术企业立足自主创新研发，提升核心技术优势，为将来的全球化竞争提供更多可能性，虽任重道远，但值得期待。