采用灵活龙门双驱结构，进一步降低涂布过程中的偏差与振动。独立外贴高解析度编码器，可识别亚微米级位置反馈。搭配有缓冲减压装置，有助于匀速涂布后快速回返。
性能参数：
1、 最大加速度：0.2G
2、 最高速度：200mm/s
3、 最大载荷：150kg
4、 定位精度：±3μm
5、 重复定位精度：±1μm
