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PCB板激光直写平台 LDI单台面集成线路曝光平台

行程：200*1400*10*5
重现精度：±1.25μm
定位精度：±2μm

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PCB板激光直写平台双轴微米级定位多轴联动双工位运动平台

行程：1300mm
重现精度：±0.75μm
定位精度：±1.5μm

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PCB板激光直写平台单轴集成电路LDI曝光设备精密定位平台

行程：1300mm
重现精度：±0.75μm
定位精度：±1.5μm

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BS-05-15-KL81 高精密微调升降平台

行程：15mm
重现精度：5μm
定位精度：15μm
最大速度：5mm/s
负载：120KG

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BS-PA11-05-新款Z轴升降滑台微调配置

行程：5mm
重现精度：±1μm
定位精度：±3μm
最大速度： 5mm/s
负载： 15KG

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BS-05-15-KL53微调升降平台Z轴倾斜

行程： 15mm
重现精度：±5μm
定位精度: 10μm（补偿后）
最大速度： 5mm/s(带负载)
负载： 100KG

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