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X-ray钻靶机精密运动平台 PCB板基板钻通孔微米级定位平台

行程：770*1330*1465mm
重现精度：±3μm
定位精度：±5μm

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PCB板激光钻孔平台二氧化碳钻盲孔高精密激光加工线路板基板

行程：960*1100mm
重现精度：±2μm
定位精度：±3μm

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陶瓷基板打孔平台十字结构1μm高精密直线电机运动滑台

行程：300*400mm
重现精度：±1μm
定位精度：±5μm（补偿后）

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