水星运控平台 | 半导体设备国产化惊艳之作

       今天是2024年9月25日，农历8月23。位于太湖湖畔的国际博览中心，也迎来了第十二届半导体设备与核心部件展盛大开幕。此次盛会6大展区，6万平方米，总计1000+企事业单位参展，共同展示前沿技术成果和创新解决方案。自半导体设备加速国产化以来，一年一度的CSEAC半导体设备展就成了国产设备集中展示的盛会窗口，家家争相竞技，户户竞相出彩。

       深圳市克洛诺斯科技有限公司（后续简称克洛诺斯科技），作为一家有着16年直线电机精密运动平台经验的国产厂家，主营产品为纳米级运功平台和微米级运动平台。克洛诺斯科技本次受邀北上参展也是携带了两样前沿科技产品，分别为35nm气浮运动平台与水星运控平台。

       35nm气浮运动平台是克洛诺斯科技第三代气浮平台，历经第一代500nm、第二代50nm升级而成，适用于晶圆光刻、检测以及计量。该气浮平台采用龙门双驱结构，搭载压力-真空空气轴承和超高精密编码器，动力部分采用无铁芯直线电机降低波动，最大可对应300mm晶圆（也就是12寸晶圆）。

       水星运控平台与木星、天王星同列，属于克洛诺斯科技恒星级高端运动平台，专为半导体高端制造设备国产化潜心研发而成。满级的水星运控平台共有7个轴，XY轴+旋转轴+顶升轴+调平调焦轴+精动轴，可以实现上下前后左右旋转等方位的精准位移，适用于半导体制造中的晶圆量检测，具体的如叠片测量、关键尺寸量测、薄膜量测等。

       众所周知，过去国产半导体设备的主力市场在于后端封测，比如检测设备多为封装阶段的AOI视觉检测，而在半导体前端制程中的量检测相对较少。究其原因，一是那时候工艺技术还不成熟，硬件及软件都无法攻克；二是专业人才的缺乏，无法有效定点突破；三是关键材料或零部件的“卡脖子”，被动受制于人。如今经过几十年的沉淀，中国半导体设备厂家不但积累了大量的人才与经验，还全面向半导体制程各个方向突破，并取得了卓效成绩。

       成立于2015年的克洛诺斯科技，就是一家专注于精密运动控制平台的技术型企业，在纳米运动控制与微米运动控制领域有着一十六年的经验。水星运动控制平台，总行程达475*410mm，可满足12寸及以下的晶圆量检测使用。水星拥有极佳的动态性能，加速度达20m/s²,同时最高速度达到1.25m/s，定位精度高达±1μm并拥有优异的双向重复精度，可满足晶圆量检测设备的短行程短稳定需求。水星运控平台卡盘面带真空接口，还可选配导轨粉尘抽吸功能、个性化信号以及压缩空气管等，可满足ISO2洁净等级环境需求。为了进一步提升晶圆量检测UPH，克洛诺斯还可为水星加装静音系列主动避震，在特定频率及工况下隔振效果能达到95%以上，每移动10μm整定窗口±40nm时整定时间就可控制在40ms内，并且位置稳定性在2KHZ时能达到±2nm，这意味着水星能极大程度上降低工作时间，有效提升设备的UPH值。