聚焦5月 | 相约SEMICON Southeast Asia

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展会快讯

■ 2025年新加坡半导体技术展览会SEMICON Southeast Asia

时间:5月20日~05月22日

展位:新加坡滨海湾金沙会展中心 Level 3 L3205

亮点:半导体前后道量检测、先进封装及精密加工解决方案

 

 

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半导体三大核心解决方案

作为国家级专精特新"小巨人"以及超精密运控领域隐形冠军,克洛诺斯为本次半导体行业盛会带来了三大核心解决方案。

 

 

▶ 半导体前后道量检测方案

覆盖叠片套刻量测、关键尺寸CD量测、薄膜量测、三维形貌量测等应用

· 水星半导体运动平台(±2nm位置稳定性+1.25m/s动态性能)
· 天王星半导体运动平台(±2nm位置稳定性+40ms整定时间)
· 气浮转台(25nm跳动误差、±0.5 arc sec定位精度)
· 气浮运动平台(±35nm精度、±5nm Jitter值)

 

 

▶半导体先进封装方案

覆盖倒晶封装、扇出型封装、2.5D/3D封装、混合键合以及μ-LED固晶点胶等应用

· 木星半导体运动平台(±200nm贴片精度+2m/s疾速响应)
· 天王星半导体运动平台(±2nm位置稳定性+1.2m/s、2.5G动态性能)

 

 

▶半导体精密加工方案

覆盖晶圆减薄、晶圆切割、晶圆研磨、晶圆抛光等应用

· 气浮电主轴(0.1μm误差精度+115N/μm轴向刚度)
· 气浮转台(25nm跳动误差+3μrad摆角误差)

 

【展会预约】

电话:0755-23706850

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