3月25日上海见|W3馆3522:见证国产晶圆级纳米定位技术硬核实力
2026
展会速览
展会:慕尼黑上海电子生产设备展
展位:上海新国际博览中心W3馆3522展位
时间:2026年3月25日-27日
亮点:覆盖纳米/微米全套解决方案现场演示

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纳米级精度,定义半导体制造新标准
当芯片制程进入埃米时代,运动控制的精度就是制造的边界。克洛诺斯将携全系列超精密运控产品亮相慕尼黑上海电子生产设备展——亚洲电子制造行业前沿盛会,以18年技术积淀,展示中国超精密运控的硬核实力,欢迎莅临现场一起见证中国精密制造的运动控制底气。
【半导体系列平台】
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水星平台:±2nm位置稳定性,前道量检测的"定海神针"
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天王星平台:40ms整定时间,速度与精度的完美平衡
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气浮运动平台:±35nm精度、±5nm Jitter值,晶圆级纳米定位技术量产先行者
【核心零部件】
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气浮主轴:25nm跳动误差,20000rpm高转速下的亚微米级坚守
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小蓝动力导轨:4m/s极速、±5μm重复定位,无限拼接适配复杂场景

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为什么是克洛诺斯?
国家级专精特新"小巨人",制造业单项冠军与瞪羚企业,国内首家实现晶圆级纳米定位技术量产。从气浮零部件到半导体运控平台全场景覆盖,服务550+半导体、光学、面板头部客户。我们不只提供设备,更提供从纳米到微米的全精度解决方案。
克洛诺斯——让每一次移动,都精确到纳米。