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BS-05-15-KL53微调升降平台Z轴倾斜
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BS-05-15-KL53微调升降平台Z轴倾斜
行程: 15mm
重现精度:±5μm
定位精度: 10μm(补偿后)
最大速度: 5mm/s(带负载)
负载: 100KG
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