PCB板激光直写平台单轴 集成电路LDI曝光设备精密定位平台

常用结构

XY十字滑台、XYZ定龙门、XYZ龙门双驱、XYZ龙门单驱、XYZR结构等等，支持非标定制。

精度范围

0.1μm——10μm

性能特点

· 非接触式直线电机驱动

· 高精度光学线性编码器反馈

· 优异的重复精度和定位精度

· 高速高加速高动态性能

· 运行平稳低抖动低噪音 

· 高强度机械结构

实力保证

1、近万种非标精密运动平台研发设计生产经验

2、校企合作研发及专业高端技术人才队伍

3、百级洁净室环境，VC-D/E减振地面

4、专业齐全的检测仪器设备

5、高效供应链整合

应用领域

精密运动平台广泛应用于半导体行业、集成电路行业、面板行业、光伏锂电行业、3C精密激光加工等领域，比如PCB激光直写、晶圆激光切割、Mini LED检测、LCD液晶面板检测、太阳能电池涂布、新能源锂电焊接、PCB激光打孔、陶瓷基板打孔、SMT钢网激光切割、玻璃切割检测、摄像头芯片检测、金属激光焊接等，基本覆盖所有先进制造业。

参数配置