第三代35nm气浮运动平台完全自主研发 纳米级位移运动控制超精密制造

结构特点

由压力—真空空气轴承和超高精密编码器设计，编码器位置靠近移动质量的重心减少最小的偏移影响。移动模块和十字底座采用精密花岗岩设计，坚固耐用，有较低的热膨胀系数。下轴采用平面结构来降低运动质量重心，由2个无铁芯直线电机组成，位置靠近系统的重心，采用龙门模式控制以最大限度减少动态力矩，上轴由单个无铁芯直线电机组成。气浮平台均属非标定制类产品，可自由集成T平台或ZT平台或ZT4D平台，也可自由搭配主动或被动减振器。

性能特点

1、高加速低振动非接触式直线电机驱动

2、高分辨率光学线性编码器反馈

3、优异的双向重复精度及高动态响应

4、纳米级位置稳定性

5、高精度低摩擦气浮导轨导向

6、高效防抖动控制配套

应用领域

气浮平台广泛应用于航空航天、精密加工、半导体制造、光学加工、电子精密组装、先进科研实验等领域，如半导体芯片处理、光学元件检测、晶圆计量检测等‌。

性能参数