水星款超精密运动控制平台 半导体制程关键尺寸 叠片测量 薄膜量测纳米级定位

应用领域

晶圆生产控制应用：关键尺寸、叠片测量、薄膜测量等

平台优势

· 总行程：475*410mm

· 具备导轨粉尘抽吸功能

· 具备个性化信号

· 具备压缩空气管

· 具备集成旋转、晶圆面聚焦以及平面偏摆修正组合模块

· 卡盘面带真空接口

· 短行程和端稳定时间

性能特点

1、加速度20m/s²,同时最大速度达到2m/s

2、定位精度高达±1μm并拥有优异的双向重复精度±0.04μm

3、纳米级位置稳定性

参数配置