CABRT 系列气浮转台

产品特点

由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成，最大限度的提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低，减少系统误差影响，同时具有高轴向刚度和大承载能力，可解决气浮轴抱死的问题。力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动。

应用领域

CABRT系列气浮转台轻量化设计，有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差；提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。

性能优势

· 闭式气浮结构

· 定位精度±0.5 arc sec

· 同步跳动误差25nm

· 精准回零误差

规格参数