产品特点
通过利用磁性预载，CABLA比典型的空气轴承级具有更小的横截面，而不牺牲负载能力。大型空气轴承表面提供了出色的刚度，允许重载。
应用领域
CABLA系列将出色的俯仰、偏航等特性与无与伦比的速度控制相结合，更适合集成电路光刻曝光、纳米压印、光子器件以及半导体制造等领域。
性能优势
· 全预载空气轴承，更高刚性更低摩擦
· 高精度光学线性编码器，纳米级位置反馈
· 完全非接触式设计，零维护高稳定
· 高速高加速高精度等高动态性能
规格参数
