CABS 系列气浮电主轴
产品特点
该系列独特的密封(迷宫式)确保主轴在不清洁的环境中使用而不易损坏。
CABS-20000和CABS-12000主轴适用于高速加工和精度要求很高的加工。
CABS-5000主轴是为晶圆研磨和抛光设计开发的,主轴的径向和轴向误差运动小于200nm,适用于各种高精度加工设备。
应用领域
CABS-20000和CABS-12000应用于精密和精细加工、光学眼镜和光学产品的车削、玻璃磨边、手机和玻璃面板以及光学镜片和显示器的研磨/抛光、光学和医疗产品的精密加工。
CABS-5000应用于晶圆加工、高同心度要求的测量系统。
性能优势
· 单点车床
· 转速高达20000 rpm
· 水冷直驱电机
规格参数