晶圆分选的“左右手”:克洛诺斯为两种主流分选方式提供精准动力
芯片分选,就像是给成千上万颗芯片安排“座位”——把测试合格的芯片按等级分类,准确无误地放入对应的料盘中。这个过程对速度和精度的要求极高,而运动平台就是分选设备的“手臂”,决定了分选的质量与效率。
目前主流的芯片分选方式主要有两种:转塔式分选和平移式分选。这两种方式各有分工,就像人的“左右手”,分别擅长处理不同类型的芯片。克洛诺斯科技针对这两种分选方式,提供了差异化的精准解决方案。
一、转塔式分选:高速旋转的“轻骑兵”
转塔式分选机以高速旋转的转塔为核心,芯片被吸嘴吸取后,随着转塔的转动在各个工位间快速流转,完成测试和分选。
它的特点很鲜明:
- 适合处理:体积小、重量轻、测试时间短的芯片(如分立器件、LED芯片等)
- 最大优势:速度极快,每小时可分选数万颗芯片
- 面临的挑战:高速旋转会产生离心力,对旋转部件的精度和稳定性要求极高;如果转台跳动,吸嘴定位不准,分选就会出错
克洛诺斯方案:气浮主轴
针对转塔式分选的核心旋转部件,克洛诺斯提供气浮主轴解决方案:
- 25nm跳动误差:气浮技术让转台在高速旋转时依然保持极低的径向和轴向跳动,确保吸嘴每次都精准落在芯片正上方
- 零摩擦运行:高压空气形成气膜,实现非接触式旋转,无磨损、免维护,长期使用精度不衰减
- 高洁净度:无颗粒产生,满足芯片分选环境的洁净要求
- 超高转速:支持每分钟数千转的高速旋转,满足转塔式分选机每小时5万片的高产能需求
- 精密分度:配合直驱电机,实现工位间的精准定位,确保芯片准确送入测试、打标、编带等各工位
- 低振动低噪音:气浮支撑有效隔离振动,保护脆弱的芯片不受损伤
对于追求极致效率的转塔式分选机,克洛诺斯气浮主轴就是那颗“高速旋转的定心丸”。
二、平移式分选:稳扎稳打的“重装部队”
平移式分选机采用机械臂或传送带,将芯片在不同工位间进行平移传送,完成测试。
它的特点也很明确:
- 适合处理:体积较大、重量较重、测试时间较长的芯片(如功率器件、IC芯片等)
- 核心要求:高精度的直线定位能力,确保芯片在平移过程中稳定、准确
- 面临的挑战:需要频繁启停、快速点对点移动,对直线运动的精度、速度和刚性都有要求
克洛诺斯方案:小蓝动力导轨
针对平移式分选的直线运动需求,克洛诺斯原创研发的小蓝动力导轨提供了高性价比的解决方案:
- ±5μm重复定位精度:确保每次抓取和放置的位置高度一致,4米以内行程精度稳定可靠
- 4m/s疾速响应:最高速度可达4m/s,最大加速度4G,满足平移式分选快速响应的需求
- 最大负载100kg:刚性足,能够承载较重的芯片和机械臂结构
- 集成化设计:将导轨、直线电机、传感器高度集成,体积比传统方案缩小30%,安装简单,维护方便
- 超高性价比:精度和速度媲美直线电机,价格更具优势
- 灵活配置:支持多工位可变间距取放,适应不同封装尺寸的芯片分选需求
对于需要“稳、准、快”的平移式分选机,小蓝动力导轨就是那副“灵活有力的直线手臂”。
方案优势总结
| 对比维度 | 克洛诺斯方案 | 传统方案 |
|---|---|---|
| 精度保障 | 气浮转台纳米/微米级分度 / 小蓝导轨亚微米级定位 | 机械轴承磨损导致精度下降 |
| 产能提升 | 气浮主轴支持50k UPH高速运转 | 转速受限,产能瓶颈明显 |
| 维护成本 | 气浮无接触、导轨一体化,维护简单 | 机械磨损频繁,维护成本高 |
| 适用性 | 转塔式小芯片高速分选 + 平移式大芯片精密分选全覆盖 | 单一方案难以兼顾 |
| 本土服务 | 快速响应定制需求,缩短设备研发周期 | 进口品牌周期长、成本高 |
应用场景
· 转塔式分选机:适用于SOP、SOT、QFN等小尺寸封装芯片的高速测试分选,集成视觉检测、激光打标、编带包装等功能
· 平移式分选机:适用于BGA、LGA、QFP等大尺寸封装芯片,以及功率器件、车规芯片等需要长时间测试的产品
无论是追求极致速度的转塔式,还是注重稳定精度的平移式,芯片分选设备的“心脏”都在于运动控制。克洛诺斯科技深耕精密运动控制18年,凭借气浮主轴与小蓝动力导轨两大核心技术,可为芯片分选设备厂商提供高速度、高精度、高可靠性的运控解决方案,助力国产半导体封测设备升级。