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CABLA 系列气浮单轴
Jitter 值:±5nm
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KUM系列无铁芯直线电机
常用款共计19款,最小推力58N,最大推力13545N。
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第三代35nm气浮运动平台完全自主研发 纳米级位移运动控制超精密制造
重复定位精度:±35nm
定位精度:±100nm
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FPD玻璃检测平台 液晶屏玻璃盖板检测用微米级定位
行程:600*700mm
重现精度:±1μm
定位精度:±5μm
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OLED面板激光打标机平台 高精度微米级液晶面板激光加工定位
行程:500*500mm
重现精度:±1.5μm
定位精度:±3μm
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Mini LED检测平台 高清液晶屏面板封装检测定位平台
行程:300*300mm
重现精度:±1μm
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TFT-LCD面板检测平台 长行程液晶面板微米级定位检测滑台
行程:1800*1870mm
重现精度:±2μm
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