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半封闭丝杆
特征
采用半封闭结构(无防水防尘功能),单体运动速度快、重复定位精度高、本体质量轻、占设备空间小、高性价比、寿命长。可搭配各个行业所需的工件,实现设备所需的简易实用的直线运动定位功能。
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半导体纳米定位平台
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克洛诺斯科技自主研发气浮平台
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纳米级精密平台 晶圆检测 纳米检测
最大加速度:1.0g
最高速度:700mm/s
最大有效载荷:20kg
定位精度:1um
重复定位精度:±100nm
选项
关键特征:
① 2D Mapping
②水冷直线电机控制器
③控制器
ACS或OMRON(Delta-tau)
④ Piezo Z-axis @ Bridge
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纳米级精密平台 晶圆检测 光刻
关键特征:
最大加速度:1.2g
最高速度:500mm/s
最大有效载荷:20kg
定位精度:0.3um
重复定位精度:±10nm
选项
关键特征
①激光反馈
②水冷直线电机控制器
③控制器
ACS或OMRON(Delta-tau)
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纳米级精密平台 晶圆检测 晶圆切割
关键特征:
最大加速度:2.5g
最高速度:1500mm/s
最大有效载荷:20kg
定位精度:0.2um
重复定位精度:±5nm
选项
关键特征
①桥梁结构
②水冷直线电机控制器
③控制器
ACS或OMRON(Delta-tau)
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新能源锂电池涂布机平台
行程:1100*900mm
重现精度:±1μm
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新能源锂电焊接
行程:980*1100mm
重现精度:±10μm
定位精度:±10μm
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太阳能电池精密加工平台
行程:800*1050mm
重现精度:±1μm
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