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纳米级精密平台晶圆检测纳米检测

最大加速度：1.0g
最高速度：700mm/s
最大有效载荷：20kg
定位精度：1um
重复定位精度：±100nm
选项
关键特征：
① 2D Mapping
②水冷直线电机控制器
③控制器
ACS或OMRON(Delta-tau)
④ Piezo Z-axis @ Bridge

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纳米级精密平台晶圆检测光刻

关键特征：
最大加速度：1.2g
最高速度：500mm/s
最大有效载荷：20kg
定位精度：0.3um
重复定位精度：±10nm
选项
关键特征
①激光反馈
②水冷直线电机控制器
③控制器
ACS或OMRON(Delta-tau)

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纳米级精密平台晶圆检测晶圆切割

关键特征：
最大加速度：2.5g
最高速度：1500mm/s
最大有效载荷：20kg
定位精度：0.2um
重复定位精度：±5nm
选项
关键特征
①桥梁结构
②水冷直线电机控制器
③控制器
ACS或OMRON(Delta-tau)

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新能源锂电池涂布机平台

行程：1100*900mm
重现精度：±1μm

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新能源锂电焊接

行程：980*1100mm
重现精度：±10μm
定位精度：±10μm

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太阳能电池精密加工平台

行程：800*1050mm
重现精度：±1μm

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太阳能电池蚀刻平台

结构：上下层XYZ滑台
行程：900*800*30mm
重现精度：±1μm

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PCB板XRAY钻通孔平台

行程：770*1330*1465mm
重现精度：±3μm
定位精度：±5μm

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PCB板激光钻孔平台（二氧化碳钻盲孔）

行程：960*1100mm
重现精度：±2μm
定位精度：±3μm

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